Исследованы процессы образования наноразмерных дефектов на поверхности (0001) слоистого легированного бором (0.01мас. %) кристалла Bi₂Te₃<B>  и формирования на этой поверхности наноструктур бора. Установлено, что в результате деформации на поверхности (0001)  кристалла Bi₂Te₃<B> образуются различные по форме линейные дефекты и наноразмерные полости. На внутрислоевых поверхностях с наноразмерными полостями слоистого кристалла Bi₂Te₃<B> обнаруживается селективный рост наноструктур бора, которые сформировались путем самоорганизации в тонком слое кристалла